Bauweise Schaltungen in Nanometer Bauweise

[taddy]

Hallo Forumse,

Trage schon länger den Gedanken mit mir rum, wie man es bei der Fertigung von Chips nun mittlerweile bei 10-7nm ist.

Die Chips werden doch erst belichtet wie normale Leiterbahnen auch, oder?

Wie belichtet man einen Gegenstand wo die meisten Wellenlängen doch erheblich länger sind (sichtbares Licht zb 400nm)

[Tyrann]

EUV-Lithografie (https://de.wikipedia.org/wiki/EUV-Lithografie)

[Yggdrasill]

Vor längerer Zeit habe ich mal einen Artikel gelesen das daran gearbeitet wird die Masken auf Basis von Interferenzeffekten zu gestalten, sprich die Maske wird auf die Auslöschung und Verstärkung von Wellen berechnet und bildet nicht mehr wie bisher üblich die Struktur 1:1 ab.
Ich finde leider den Artikel dazu nicht mehr.

Offenbar ist die EUV-Lithographie trotz des immensen Aufwand aber immer noch wirtschaftlicher als die Interferenzvariante und soweit mir bekannt ist werden bei EUV auch keine solchen Masken eingesetzt.

[blinki]

Als Einstieg: Lektion 38 https://www.youtube.com/watch?v=TdwUGOxCdUc

Und dann bis Lektion 60:EUV-Lithografie
Wirklich umfassend erklärt von nem Experten

Dann kennste dich aus um hier: https://www.forum-3dcenter.org/vbulletin/showthread.php?t=546540 mitzureden.